Наноиндентирование – универсальное средство количественной характеризации физических свойств материалов в нано- и микродиапазонах. Наноиндентор Agilent G200 позволяет определять механические свойства нанометровых приповерхностных слоев и субмикронных объемов самых различных материалов – от мягких биологических до сверхтвердых алмазоподобных. В отличие от традиционных испытаний для определения микротвердости, подразумевающих одну меру проникновения для одного силового воздействия (например, по Виккерсу), при наноиндетировании силовое воздействие и глубину проникновения измеряют непрерывно как при движении индентора вглубь материала, так и при обратном движении. Данные о процессе нагружения/смещения содержат множество ценной информации. Наноиндентор Agilent G200 идеально подходит для определения характеристик тонких пленок и покрытий, а также объемных материалов. Образец легко подготовить; все, что требуется – гладкая плоская поверхность. Никакой специальной подготовки "гантелек-образцов" для испытаний.

Основные возможности:

• определение микротвердости по Мейеру;
• определение модуля Юнга;
• выявление зависимости свойств от глубины в высокоградиентных материалах;
• определение положения границ и раздельное определение свойств материала пленки и субстрата в тонкопленочных структурах без приготовления поперечного шлифа и стравливания поверхности;
• определение адгезионной прочности пленочных покрытий (скретч тест);
• оценка контактной, усталостной и абразивной износостойкости.

Полное перемещение индентора	1.5 мм
Разрешение по перемещению	0.01 нм
Максимальная глубина индентирования, более	500 мкм
Нагружающая сила
Максимальная нагрузка	500 мН
Разрешающая способность нагружения	50 нН
Контактная сила, менее	1.0 мкН
Позиционирование зонда
Размер участка поверхности образца для исследований	100х100 мм
Точность позиционирования образца	1 мкм

Наноиндентор оборудован оптическим микроскопом со сменными объективами, который позволяет получить увеличение до 1000 крат. Это позволяет с высокой точностью задавать координаты интересующей точки или области исследования, а также визуализировать эти области после проведения измерений.

Остаточное воздействие; «ореол» вокруг отпечатков свидетельствует об отслаивании покрытия	Результат царапания образца

При исследовании покрытий и градиентных материалов большой интерес представляет изменение твердости и модуля упругости по глубине. В таких случаях производится многократное (до 50 циклов) нагружение заданной точки образца с увеличением нагрузки в каждом последующем цикле. Типичные диаграммы «нагрузка-глубина внедрения» и «время-нагрузка» для такого режима измерений имеют следующий вид: А так выглядят результаты измерения твердости и модуля упругости в графическом виде:

Изменение твердости Н и модуля упругости Е ионно-плазменного покрытия в зависимости от глубины внедрения h.